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クリーンルームとは
クリーンルームとは、空気中の粒子の濃度を制御し、温度や湿度、圧力を一定に保つために特別に設計された施設のことをいいます。
このような部屋では、空気清浄機を用いて、外部からの汚染物質の侵入を防ぎ、内部では特定の条件下で製品の製造や研究が行われます。
また、従事する人々も、汚染を引き起こさないような特別な服装をして作業を行います。
クリーンルームはJIS規格およびISO規格によってその清浄度が定められており、その基準に沿って様々なクラスが存在します。
クリーンルームの種類
クリーンルームは用途や業種によって、主にインダストリアルクリーンルーム(ICR)とバイオロジカルクリーンルーム(BCR)に分かれています。
インダストリアルクリーンルーム(ICR)
主に工業用の様々な製造工程で使用されており、空気中に浮遊する微粒子などを限定したレベルの数値以下に管理します。
半導体・液晶パネル・光学機器等の製造・研究等に利用されています。
バイオロジカルクリーンルーム(BCR)
主に食品加工・医療分野の製造・研究に使用されていおり、空気中を浮遊している菌の数や床などに落下して堆積する菌の数を限定した数値以下への管理が必要になります。
クリーンルームの清浄度クラスについて
クリーンルームの清浄度クラスとは、「空気中の微粒子がどの位少ないか」、「クリーンルームの環境がどの位きれいか」を表します。
空気中に存在する微粒子の量によって、さまざまなクラスに分類されます。
この分類方法には、世界的に共通な基準があり、クリーンルームのクラスを表す規格にはアメリカ連邦規格(FED規格)、ISO規格、JIS規格などがあります。
これまではアメリカ連邦規格(FED規格)が使われることが一般的でしたが、近年、国際統一規格であるISO規格に徐々に移行されています。
アメリカ連邦規格(FED規格)
洗浄度クラスの規格は1963年に発行されたアメリカ連邦規格Fed.Std.209(Federal Standard)に始まります。
一般的に「クラス100」、「クラス1000」という表現がこの規格によるもので、例えば「クラス100」と言えば1cf(キュービックフィート)の体積中に0.5μmの粒子が100個以下であることを表しています。
ISO規格
国際標準化機構(ISO)によって定められたISO 14644-1は、クリーンルームの分類を規定する国際的な基準です。この基準では、クリーンルームはISOクラス1からISOクラス9までの9つのクラスに分けられます。
1立方メートルあたりに含まれる粒径0.1μm以上の粒子の数でクラスが分けられています。
JIS規格もISO規格と算出方法は同じなため、概ね同じものと考えて良いでしょう。
ただし、JIS規格ではクラスの分類が1〜8までしかないことに注意が必要です。
清浄度クラス | 上限粒子数濃度(個/m³) | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
ISO 14644-1 |
アメリカ連邦規格 Fed.Std.209 (対象粒径0.5μm) |
測定粒径 | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1.0μm | 5.0μm | ||
Class 1 | 10 | 2 | |||||
Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
Class 3 | 1 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
Class 4 | 10 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
Class 5 | 100 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
Class 6 | 1,000 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
Class 7 | 10,000 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
Class 8 | 100,000 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
Class 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
業種や作業内容による清浄度クラスの目安
「クリーンルーム」の使用用途により求められる清浄度クラスが異なります。
清浄度クラスのレベルは業界によっておおよその目安があります。
産業分野 | 求められる清浄度クラス | 適用・対策 |
---|---|---|
半導体工場 | Class 3~5(1~100) | 集積回路、エッチング、蒸着や研磨などにおけるハイレベルな塵埃管理 |
電子部品工場 | Class 5~7(100~10,000) | プリント基板、ディスク、コンデンサーなど製品の生産性向上と品質管理 |
光学機械工場 | レンズやカメラ、レーザーなど高精度製品への対応と品質管理 | |
精密工場 | 時計、ロケット用部品、ミニチュアベアリングなどに対応する微細塵埃の除去と製品の品質管理 | |
薬品・食品工場 | Class 5~8(100~100,000) | 乳製品や醸造品、食肉加工における虫の混入対策 |
印刷工場 | Class 6~8(1,000~100,000) | 製品の仕上がりの向上と品質管理 |
自動車部品工場 | 部品製造における鉄の切粉・鉄のコゲ・くずなど目に見えるもの | |
手術室・治療室 | 手術室、ICU、検査室における空気感染を考慮、患者と医師の保護 |
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